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緩解企業(yè)用水問題實(shí)現(xiàn)研磨廢水有效處理

時(shí)間：2022-10-17

　　電子信息業(yè)是一項(xiàng)前景非常廣闊的新興產(chǎn)業(yè)，被我國譽(yù)為“朝陽產(chǎn)業(yè)”。在晶棒、晶圓制造過程中，需要經(jīng)過切割、研磨、劃片、減薄、化學(xué)研磨平坦化(CMP)等工藝，產(chǎn)品經(jīng)過清洗后會產(chǎn)生大量研磨廢水。

　　不同于一般工業(yè)廢水，研磨廢水是一種高濃度的無機(jī)廢水，其主要污染物是粒徑極小且不易沉降的穩(wěn)定懸浮顆粒，所述清洗廢水所含的污染物濃度較低，COD質(zhì)量濃度110~150mg/L，水量較大，水質(zhì)呈弱堿性，生成能力差。因?yàn)檠心ブ圃旃に囀请娮悠髽I(yè)生產(chǎn)的重要環(huán)節(jié)，因此研磨廢水的處理成為電子企業(yè)必須面對的一個(gè)難題。

　　萊特萊德根據(jù)研磨廢水的特點(diǎn)，合理制定處理工藝，在系統(tǒng)預(yù)處理部分結(jié)合安拜芮特種藥劑，以提高PAC和PAM的絮凝效果，有效去除水中少量懸浮物和不溶性硅。合理的預(yù)處理工藝搭配膜法分離系統(tǒng)，使后續(xù)膜系統(tǒng)處理效果顯著，減少了后續(xù)膜系統(tǒng)的清洗次數(shù)，確保膜系統(tǒng)長期穩(wěn)定運(yùn)行。

　　工藝流程：

　　研磨廢水→調(diào)節(jié)池→一體化凈水設(shè)備→MMF過濾器→UF裝置→反滲透裝置→回用至工藝用水

　　工藝優(yōu)勢：

　　1、特種藥劑投加，保證絮凝效果。

　　2、微絮凝濾膜技術(shù)，出水水質(zhì)好。

　　3、膜系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定，運(yùn)行周期長。

　　經(jīng)過系統(tǒng)處理的研磨廢水可以全部回用于車間的前期清洗工序，不僅降低了工廠廢水對環(huán)境的污染，而且有效地減少了區(qū)域水資源的利用，緩解企業(yè)用水問題。萊特萊德可根據(jù)用戶要求定制性價(jià)比更好的研磨廢水處理工藝，從制造到生產(chǎn)確保各工藝環(huán)節(jié)得到有效控制，循環(huán)的生產(chǎn)方式，有效的幫助工業(yè)領(lǐng)域的客戶提高生產(chǎn)效率、實(shí)現(xiàn)清潔生產(chǎn)和節(jié)能環(huán)保。

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